美国施压之下，荷兰将禁止ASML对在华高端DUV设备维护？

　　根据最新的业内消息显示，荷兰政府计划限制ASML在中国维修半导体设备的能力，这或将对于中国提升先进制程制造能力的努力造成打击。

　　据熟悉内情的人士透露，在ASML某些在中国提供服务和备件的许可证于今年年底到期后，荷兰首相迪克·肖夫政府很可能不再为其续期。这一决定预计将涉及该公司的高端深紫外光刻(DUV)设备。

　　AMSL是全球最大的半导体设备供应商，同时也是全球最大的光刻机供应商。此类设备供应商在销售设备时都附带了维护协议，这对设备的正常运行至关重要。因此，如果取消这种支持，可能会导致至少部分设备最快在明年就无法运行。

　　据称，荷兰政府的决定是在美国施加一定压力后做出的。美国拜登政府的一位高级官员说，如果这些盟国不同意在对华管制上与美国保持一致，美国政府可能将对盟国实施某些单边措施，包括所谓的“外国直接产品规则”(FDPR)。

　　FDPR将使得美国能够对外国产品实施“长臂管辖”。即使是在美国境外生产的特定物项，如果开发或制造直接利用了哪怕是最少量的美国特定受管控的软件或技术，则该物项也将受到出口管制管辖。此前该规则仅被用于少数被美国商务部列入“实体清单”的企业。

　　目前，除美国外，荷兰、日本和韩国是全球最重要的芯片制造设备生产国。此前就曾有报道称，拜登政府威胁使用 FDPR 规则来让这些盟国加入对华半导体出口管制。

　　虽然，荷兰前首相马克·吕特(Mark Rutte)领导下的荷兰政府抵制了美国要求增加对于半导体设备售后服务限制的压力，认为需要更多时间来评估高端芯片制造设备出口禁令的影响。

　　但是，在今年7月荷兰新首相迪克·肖夫上台后，情况发生了改变。由这位荷兰前国家安全部门首脑迪克·肖夫领导的新政府已经表明了对中国的警惕态度。

　　迪克·肖夫在本月接受采访时表示，荷兰在与中国政府就国家安全问题进行谈判时必须"非常谨慎"。

　　当被问及荷兰政府今年是否考虑采取新的出口管制措施时，迪克·肖夫说，荷兰政府与美国和日本进行了"良好的谈判"，并希望谈判"以良好的结果告终"。

　　虽然荷兰政府此前于2023年6月底颁布的有关先进半导体设备的额外出口管制的新条例，但该政策于2023年9月1日才正式生效。这些新的出口管制条例主要针对的对象为先进的芯片制造技术，包括先进的沉积设备和浸没式光刻系统。尽管如此，ASML凭借已有的许可证，仍能够允许其在2023年底前继续将NXT:2000i 和更先进的DUV光刻机出口到中国大陆。

　　因此，在荷兰的限制政策真正发挥效力之前，中国厂商已经进口了不少先进的DUV光刻机。虽然7nm以下的先进制程工艺必须要用到EUV光刻机才拥有足够的效率、良率和经济效益，但是利用先进的DUV光刻机通过多重曝光工艺，也依然能够做到7nm，甚至是更先进的5nm制程，虽然会带来效率、良率的低下，以及成本的大幅提高。

　　即便如此，美国也希望继续封堵住中国大陆通过利用已有的先进的DUV设备的来实现先进制程方面技术突破的努力。因此，美国希望通过限制ASML对于中国大陆已经有的先进的DUV光刻机提供售后维护服务，来达到瘫痪这些已有的先进DUV光刻机，从而进一步限制中国先进制程工艺的目的。

　　值得注意的是，ASML首席财务官罗杰-达森(Roger Dassen)在7月份的财报后电话会议上告诉分析师，尽管一些(中国大陆)工厂面临更严格的限制，但该公司仍有员工在中国客户的工厂工作。相比之下，由于美国的出口管制，美国公司已经不得不撤走为中国最高端芯片设备提供服务的员工。

　　AMSL前CEO Peter Wennink去年曾强调，“这些(限制)只适用于数量有限的(DUV)系统。但我们可以安装它们。我们出售的任何其他系统，我们都可以安装并提供服务。”因此，这些限制“不会对ASML的2025年至2030年的财务状况产生重大影响，因为受影响的中国工厂数量有限”。

　　据芯智讯了解，ASML的浸没式DUV光刻机虽然目前已经是非常成熟的设备，其中关键的DUV光源除了ASML美国子公司Cymer之外，日本的GIGAPHOTON也可以供应，但日本的新的出口管制政策似乎有限制。另外在关键的镜头方面，主要是德国的蔡司供应，因此这部分的维护和更换也能够解决。不过，仍有一些零部件是只有美国来源，比如工件台、配合工件台定位对准的激光部件，都是纯美国的产品。

　　虽然ASML目前在中国有一个维修中心，部分零部坏了可以进行本地维修。但是如果修不好，需要更换，那么只要是受限的美国来源的零部件，又没有其他的供应来源替代，这就意味着该损坏的零部件无法得到更换。唯一可行的方案，可能就是到一些二手设备上拆对应的零部件来替换了。当然，可能部分厂商之前有囤积一些零部件备件的库存，但这并非长久之计。

　　如果荷兰政府在美国压力之下停止向ASML发放许可证，那么ASML对于在华高端DUV设备的售后维护将会彻底受限。

　　根据ASML的财报显示，2023全年，ASML的净销售额为276亿欧元，其中56亿欧元来自于已安装的设备维护服务，占比20.29%。而中国大陆在ASML的净系统销售当中的占比约29%。如果按照该比例计算的话，2023年ASML来自中国的设备维护服务收入约为16.24亿欧元。不过，受限的高端DUV设备的售后维护服务营收在当中的占比可能也只占一部分。